1. 主体材质为天然大理石，结构稳定、刚性好、精度高、可靠性强；

2. 三直线轴均采用直线电机，动态响应快，定位精度高；

3. 两旋转轴采用力矩电机，精度高；

4. 直线轴和旋转轴均采用闭环控制；

5. 直线轴采用直线滚珠导轨，摩擦系数低，响应速度快；

6. 设备配有内置相机和探针。